名称：        原子力显微镜                             型号：       MULTIMODE TM

产地：        美国                                          生产厂家： Veeco metrology group

购买日期： 2007.4.30                                  联系人：    康卓  

联系邮箱： zhuokang@ustb.edu.cn           联系电话： 010-62334725  

放置地点： 工程实践楼一期 光学实验室  

主要规格及技术指标

1. 测试环境：室温常压；2. 测试样品：固体样品，样品的载体包括云母片、抛光硅片、二氧化硅；3. 测试样品高度：不超过500nm；4. 扫描范围：500nm-50μm；5. 分辨率：2nm

主要功能及特色

1. 可提供表面形貌测试；2. 可提供表面功函数测试