仪器名称：超高真空紫外光电子能谱测量系统       仪器型号：NEXSA G2

产地：                         捷克                                 生产厂家：Thermofisher

购买日期：             2023/12/1                             分类标签：成分表征

联系人：                   于慧慧                                 联系电话：010-62334725

放置地点：           鼎新楼A座521

主要规格及技术指标：

1. 分辨率及灵敏度：大束斑（≤400μm）下，2.0 Mcps@0.6eV、6.5Mcps@1.0eV（需制造商实测谱图证明）；小束斑（Φ15~20μm）下，30kcps@0.6eV、300kcps@1.0eV。2. 真空系统：分析室配置前级机械泵、涡轮分子泵和钛升华泵，极限真空度≤5×10⁻⁹ mbar；快速进样室极限真空度≤8×10⁻⁸ mbar，具备自动烘烤系统。3. 能量分析器与X射线光源：双聚焦半球型能量分析器，能量扫描范围 0-1500eV（最小步长 3meV），128 通道微通道板探测器；单色化 Al Kα X 射线源，最小聚焦束斑≤10μm（非成像模式），束斑10~400μm可调（至少10 ）。4. 样品台与进样系统：多轴全自动控制，X/Y/Z 移动范围≥60mm×60mm×20mm，摆放面积≥3600mm²；配备三位置定位相机，支持全自动分析；自动进样系统可无人工干预转移样品。5. 荷电中和与团簇离子枪：同源双束中和源，绝缘体分析 15kcps@0.82eV；Ar原子/团簇双模式离子枪，团簇模式能量2-8keV（单个离子最低 1eV）。6. 自动化与拓展功能：内置标准样品台，支持一键自动标定；预留真空原位拉曼接口；反射电子能量损失谱可测氢元素及半导体带隙，紫外光电子能谱Ag费米边分辨率≤100meV。

主要功能及特色：用于分析固体粉末、块体样品表面几个纳米的表面化学组成、元素组成及表面元素价带能级结构，实现原子价态分析，化合物结构分析和深度刻蚀分析等功能。