名称：        场发射扫描电子显微镜               型号：       Quanta 3D FEG

产地：        美国                                          生产厂家： FEI

购买日期： 2015.11.30                                联系人：    张铮  

联系邮箱： zhangzheng@ustb.edu.cn       联系电话： 010-62334725  

放置地点： 金物楼 103  

主要规格及技术指标

1. 最高加速电压：30 kV；2. 电子束最高分辨率：1.2 nm；3. 聚焦离子束光学系统最高分辨率：7 nm；4. 分析工作距离：10 mm。

主要功能及特色

1. 扫描电子显微镜表征。

2. 聚焦离子束切割。