名称：        扫描电子显微镜                          型号：       JSM-6490

产地：        日本                                          生产厂家： JOEL TECHNICS Ltd.

购买日期： 2007.4.1                                    联系人：    张铮  

联系邮箱： zhangzheng@ustb.edu.cn       联系电话： 010-62334725  

放置地点： 金物楼 177  

主要规格及技术指标

1. 分辨率：小于3.0nm（30kV，高真空，钨灯丝，二次电子）；小于4.0nm（钨灯丝，背散射电子）；2. 加速电压最小范围：0.5~30KV，10V/步；3. 放大倍数范围：20～300,000倍；4. 真空系统：高真空度：1.5×10-3Pa；低真空度：6～270Pa；5. 电子束扫描控制：扫描模式：点、线、面、选区；6. 能谱仪Si(Li)探测器：分辨率优于133eV；7. 能谱探测器的有效面积：10mm2; 8. 能谱元素分析范围：B5～U92

主要功能及特色

1. 各种固体样品表面的高分辨形貌观察