名称：        单面紫外曝光机                         型号：        H94-25C

产地：        中国                                          生产厂家： 四川南光真空科技有限公司

购买日期： 2016.11                                    联系人：    张铮  

联系邮箱： zhangzheng@ustb.edu.cn       联系电话： 010-62334725  

放置地点： 工程实践楼一期 超净间  

主要规格及技术指标

1.光源：汞灯；2.曝光精度：3微米；3.曝光晶圆尺寸：4英寸

主要功能及特色

1. 12电极掩模板紫外曝光；

2. 图案化材料刻蚀及电极套刻。