仪器名称：      原位纳米叠层超结构电极材料沉积系统        仪器型号：K22-453

产地：                                  中国                                      生产厂家：中国科学院沈阳科学仪器有限公司

购买日期：                         2022.12                                  分类标签：材料制备

联系人：                              于慧慧                                   联系电话：010-62334725

放置地点：                         金物楼112

主要规格及技术指标：

EB极限真空度：≤3*10-5Pa；

EB电子枪:功率：10KW;  水冷坩埚：6*40cc

PECVD极限真空度：≤3x10-5Pa

PECVD加热炉最高温度:1000℃士1℃

中转室极限真空度：≤6.6x10-5Pa

基片尺寸:φ2-4英寸、20mm*20mm、10mm*10mm

功率:20KW;  电源电压:三相 380V

工作区尺寸(mm):p90x120(mm)；  外形尺寸:1100*1200*1700(WXDXH)

主要功能及特色：

原位纳米叠层超结构电极材料沉积系统将电子束蒸镀、等离子体辅助化学气相沉积真空互联为一体，适用于全自动制备层状薄膜新材料