名称：        电子束蒸发镀膜机                      型号：        XS-2013-1805-134

产地：        中国                                          生产厂家： 北京中科科仪股份有限公司

购买日期： 2013                                         联系人：    张铮  

联系邮箱： zhangzheng@ustb.edu.cn       联系电话： 010-62334725  

放置地点： 测试楼 115  

主要规格及技术指标

1.极限真空度：1.5×10-4 Pa 2.真空抽气系统：机械泵与复合分子泵组成；真空测量系统：复合数显真空计；

主要功能及特色

适用于制备导电薄膜，半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜，高性能薄膜研究及新材料科学研究工作。其主要特点为功能强、镀膜质量稳定、重复性好、操作简便。