名称：        CVD管式炉                                型号：       OTF-1200X

产地：        中国                                          生产厂家： 合肥科晶

购买日期： 2015                                         联系人：    张铮  

联系邮箱： zhangzheng@ustb.edu.cn       联系电话： 010-62334725  

放置地点： 工程实践楼一期 608  

主要规格及技术指标

1. 最高温度1200℃，使用时不超过1000℃2. 最大升温速率20℃/min3. 管径尺寸，外径30 mm，内径26 mm4. 系统最高真空度，约3×10-3 torr5. 出气口配备防倒吸洗气瓶

主要功能及特色

1. CVD MoTe2

2. CVD WSe2