名称：        三温区CVD管式炉                        型号：       CY-CY-01200-50IIIT

产地：        郑州                                            生产厂家： 郑州成越科仪  

购买日期： 2016.04.19                                  联系人：    张铮  

联系邮箱： zhangzheng@ustb.edu.cn         联系电话： 010-62334725   

放置地点： 工程实践楼一期 608   

主要规格及技术指标

1. 3个温区最高温度分别是：300℃，1050℃，1050℃；2. 2个气路分别是：H2，0-10sccm，Ar，0-200sccm。

主要功能及特色

1. 生长材料