仪器名称：半导体元件电学性能高低温真空环境测试系统  仪器型号：B1500A + Lakeshore TTPX

产地：                                 美国                                     生产厂家：美国Lake Shore +是德科技

购买日期：                        2023.4                                   分类标签：电学测试

联系人：                            于慧慧                                    联系电话：010-62334725

放置地点：                    鼎新楼A座521

主要规格及技术指标：

（一）低温真空探针台

1. 温度范围：80K-400K，控温稳定性：±500mK；

2. 真空系统：配备分子泵，极限真空<5×10-4 mBar；

3. 操作台：配备6个探针臂，直流测量的漏电小于100fA。

（二）半导体测试分析仪

4个B1511B中功率SMU模块（电流分辨率10fA/0.5μV）；

2个B1517A高精度SMU模块（电流分辨率1fA/0.5μf）;

2个E5288A自动传感开关单元（将电流分辨率提升至0.1fA/0.5μf）；

1个N1254A适配器接GNDU

主要功能及特色：

1. 常规半导体器件电学性能测试，包括晶体管、二极管、三极管、逻辑门电路

2. 提供低温真空测试环境。