名称：        lake shore低温真空探针台 / B1500A半导体测试分析仪             

型号：        Lake Shore TTPX / B1500A

产地：        美国                                          生产厂家： Lake Shore / 是德科技(安捷伦)

购买日期： 2020.12.31 / 2021.12.08           联系人：    张铮  

联系邮箱： zhangzheng@ustb.edu.cn       联系电话： 010-62334725  

放置地点： 工程实践楼一期 超净间  

主要规格及技术指标

低温真空探针台

1. 温度范围：80K-400K，控温稳定性：±500mK；2. 真空系统：配备分子泵，极限真空<5×10-4 mBar；3. 操作台：配备6个探针臂，直流测量的漏电小于100fA。

半导体测试分析仪

1. 电源：100-240V~，50/60Hz；2. 10扩展插槽机箱和Windows操作系统；3. 源表模块：4个B1511B中功率SMU模块（电流分辨率10fA/0.5μV）、2个B1517A高精度SMU模块（电流分辨率1fA/0.5μf）、2个E5288A自动传感开关单元（将电流分辨率提升至0.1fA/0.5μf）、1个N1254A适配器接GNDU

主要功能及特色

1. 常规半导体器件电学性能测试；

2. 提供低温真空测试环境。