名称：        光电流mapping                        型号：       MStarter 200

产地：        中国                                          生产厂家： 迈塔光电

购买日期：                                                  联系人：    张铮  

联系邮箱： zhangzheng@ustb.edu.cn       联系电话： 010-62334725  

放置地点： 工程实践楼一期 超净间  

主要规格及技术指标

1. 探针座：4个，探针直径5微米，使用三同轴电缆连接2. 样品台：XYZR四轴位移功能，带真空样品吸附，可以快速抽出3. 扫描平台：XY方向行程各100微米，定位精度20nm，，最小步长50nm，光电流扫描支持直流直接扫描，光电流/暗电流同时扫描以及交流光电流扫描4. 显微镜：2倍，5倍，10倍，20倍，50倍5个物镜以及1个1-5mm光圈5. 激光器：标配405nm， 520nm， 635nm单模保偏激光器，可以选配450nm， 488nm， 505nm,650nm激光，激光可以进行模拟和数字调制，调制带宽大于100KHZ6. 激光照明光路：匀强光斑照明模块，光斑直径8-200微米，聚焦光斑照明模块，光斑直径约1微米7. 光电测试系统：包含源表，前置放大器，信号发生器，示波器等硬件以及Metatest Suite测试软件包，电流测试分辨率100fA，最大电压土200V，瞬态光电流测试系统上升沿/下降沿50us （1nA电流），2uS（大于100n^电流)

主要功能及特色

   光电流成像系统又叫扫描光电流显微镜，是一种用于检测材料光电流强度分布的专用设备，它既可以用来测量光电材料的光电响应信号，又可以用来表征材料的光电性质。光电流成像系统将光电材料对于光信号响应的不均匀性以可量化且可视化的方式显示出来。通过该系统，可以研究例如太阳能电池光生电流的不均匀性，探索光电器件量子效率与器件电阻的分布特性，研究器件吸收与电荷生成的微区特性，以及光电材料界面、半导体结区的品质分布等。光电流成像系统包括激光器、显微镜、激光扫描振镜、数字源表和软件部分。激光通过扫描振镜，经显微镜物镜聚焦到样品上，样品上因光电效应产生电流，电流信号读出后传至电脑。扫描时，振镜控制激光聚焦光斑在样品XY方向上扫描移动，软件记录每一个激光聚焦光斑的位置和其对应激发的电流值，即可实现光电流成像