仪器名称：半导体元件电学性能测试系统   仪器型号：B1500+CX3324

产地：                马来西亚                        生产厂家：是德科技

购买日期：         2023/6/1                       分类标签：电学测试

联系人：              于慧慧                          联系电话：010-62334725

放置地点：       鼎新楼A座521

主要规格及技术指标：

1.中功率源测量单元（≥4 个）：电压≥±100V、电流≥±100mA，电流 / 电压测量分辨率分别≤10fA、≤0.5μV，最小时间采样率≤100μs，支持准静态电容

测量、2/4 线连接及四象限操作。

2. 高功率源测量单元（≥2 个）：电压≥±200V、电流≥±1A，电流 / 电压测量分辨率分别≤10fA、≤2μV，最小时间采样率≤100μs，支持准静态电容测量、

2/4 线连接。

3. C-V 多频率电容单元（≥1 个）：支持 AC 阻抗测量（C-V、C-f、C-t），频率 1KHz~5MHz 且分辨率≤1mHz，交流信号电压 10mVrms~250mVrms，

偏置电压≥±25V（可扩展至 ±100V）。

4. 前置放大单元（≥2 个）：电流测量分辨率≤0.1fA，可简便切换 I-V 与 C-V 测量且无需换线。

5. 脉冲发生器单元（≥1 个）：含≥2 个高速脉冲电压源通道，支持 ±40V、800mA 峰值及两 / 三电平脉冲，ALWG 模式 10ns 可编程分辨率，可与源测量

单元切换。

6. 精密电流波形分析仪（≥1 台）：≥4 通道，电流测量带宽≥200MHz、采样率≥1GSa/s，高分辨率模式硬件垂直分辨率≥16 位，噪声 < 90μV，含数据记

录仪功能。

7.精密电流波形分析仪配套：2 个电流传感器（150pA~20mA、带宽≥200MHz）、2 个电压探头（带宽≥500MHz）等必要附件。

主要功能及特色：

能够执行从基础电流-电压(IV)和电容-电压(CV)表征到最佳快速脉冲IV测试的全方位测量。