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全波段微区光电扫描测试系统

发布时间:2025-08-05

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仪器名称:全波段微区光电扫描测试系统  仪器型号:MStarter-200


产地:                   江苏南京                    生产厂家:南京迈塔光电科技有限公司


购买日期:           2023/10/1                   分类标签:光电测试


联系人:                 于慧慧                       联系电话:010-62334725


放置地点:         工程实验基地521


主要规格及技术指标:

1. 探针台体与样品台:探针台体 X-Y 移动行程 50mm×50mm,精度≤4μm;样品台 XY 移动精度≤5μm,可 360° 旋转,带光电屏蔽罩壳。

2. 探针座及配件:4 个三同轴探针座(磁力吸附,XYZ 行程≥12mm,精度≤2μm);配套电缆漏电流≤1pA,含 10 个 5μm 针尖直径钨针。

3. 金相显微与照明:物镜安装位≥6 个(含长工作距离及紫外 - 近红外物镜);1200 万像素观察相机;白色 LED 照明(带 470/520/600nm 滤光片)。

4. 激光光源:涵盖 405nm~1550nm 常规激光(出纤功率≥5mW)及 320nm、2.2μm、3.27μm 特殊激光(功率≥5mW);150W 氙灯光源(250-1800nm,波长准确度≤1.5nm)。

5. 测试系统:瞬态光电测试量程 1pA-1mA(采样率≥10MS/s);光电流成像平移台压电扫描≥100×100μm(分辨率≤20nm)、步进扫描≥50×50mm(分辨率≤1μm);高精度光功率计覆盖 190nm-10μm。

6. 偏振与辅助模块:偏振组件覆盖 250nm-10μm。

7. 测试软件:支持 I-V、光强、I-t 测试及光电流波形扫描;可自动校准光强,实现扫描同步成像与显微成像控制。

主要功能及特色:

1.320nm-3.27um范围内的光电曲线与扫描图谱测试;

2.405nm-3.27um范围内偏振性测试