仪器名称：多通道集成电路电学性能测试系统  仪器型号：M9019A Pxle

产地：                     马来西亚                         生产厂家：是德科技

购买日期：              2023/8/1                        分类标签：电学测试

联系人：                  于慧慧                            联系电话：010-62334725

放置地点：          鼎新楼A座521

主要规格及技术指标：

1. 多通道源测量单元（≥6 个）：每模块≥5 通道，总计≥30 通道；每通道电压≥±30V、电流≥±500mA；电流测量分辨率≤10pA，电压测量分

辨率≤6μV；采样率≥500kSa/s，可编程最小脉宽≤100μs；支持 2/4 线连接及四象限操作。

2. 高分辨源测量单元（≥2 个）：电压≥±210V、电流≥±315mA；电流测量分辨率≤10fA，电压测量分辨率≤0.5μV；采样率≥1.25MSa/s，可

编程最小脉宽≤20μs；支持 2/4 线连接及四象限操作。

主要功能及特色：

1.PXle测试系统配备多种规格的SMU模块，可根据测试要求自由搭配，也可用于光电、射频电路测试以及存储阵列的稳定性测试；

2.能够执行从基础电流-电压(IV)表征和快速脉冲IV测试的全方位测量，并提供多达30个通道。