仪器名称：薄膜材料精密激光刻蚀划线机  仪器型号：HIPA-LSS-KS-PS-M-1

产地：                     中国                         生产厂家：深圳市杰普特光电股份有限公司

购买日期：           2024.11.13                  分类标签：材料制备

联系人：                 于慧慧                       联系电话：010-62334725

放置地点：           金物楼112

主要规格及技术指标：

1. 激光器：最大平均输出功率 ≥15W，激光波长532nm，最大脉冲能量 ≥50J，脉冲宽度 ≤15ps

2. 三轴精密移动平台：XY轴最大行程400mm*300mm，最大有效加工幅面300mm*300mm，XY轴定位精度 ≤±2μm

3. 激光加工精度：皮秒加工P2/P3火山口＜50nm，纳秒红外加工P1火山口＜100nm，皮秒加工P2/P3热影响区＜5μm，纳秒红外加工P1热影响区＜5μm

主要功能及特色：

适用于各种规格片式电阻导电基板的划线作业，囊括红外与紫外型号，以精准的能量密度发出极细激光束，通过光学系统的扩束、整形及聚焦于导电基板及薄膜材料对其进行气化蒸发，实现精密刻蚀划线。

在钙钛矿太阳能电池组件生产中承担核心工艺功能，通过高精度激光划线实现子电池划分与串联。