仪器名称：有机-无机多源真空热蒸镀仪 仪器型号：ZHDS400

产地：                     中国                      生产厂家：北京泰科诺科技有限公司

购买日期：         2023.07.06                分类标签：材料制备

联系人：               于慧慧                     联系电话：010-62334725

放置地点：         鼎新楼A座604

主要规格及技术指标：

1. 真空度范围：1.0E5Pa到1.0E-5Pa。

2. 蒸发温度：室温~1300℃（真空状态）。

3. 膜厚不均匀性：＜5.0%

4. 蒸发源：2组金属源+4组有机源

主要功能及特色：

广泛应用于钙钛矿太阳能电池/OPV有机太阳能电池等器件的金属电极、传输层、活性层等膜层制备，可实现有机-无机3源共蒸发