仪器名称：原子层厚度材料干法刻蚀图形转移系统  仪器型号：SI 500

产地：                            德国                                生产厂家：

购买日期：                   2023年                              分类标签：器件加工

联系人：                       于慧慧                               联系电话：010-62334725

放置地点：                鼎新楼A座521

主要规格及技术指标：

上电极采用平板三螺旋天线的感应耦合等离子体(ICP)源；样品尺寸:最大8英寸直径晶圆、向下兼容更小的晶圆和不规则小片;不同尺寸样片之间的切换、无需反应腔的开腔破真空;上电极ICP源射频发生器:频率13.56MHz，功率1100W;下电极偏置射频发生器:频率13.56MHz，功率600W;配置5路工艺气体管路，包括C12，SF6，BC13，02，Ar等;

主要功能及特色：

用于表面清洁，基板穿孔加工，芯片微细结构加工等