仪器名称：半导体器件参数分析仪  仪器型号：MS8-1C

产地：                中国江苏             生产厂家：江苏雷博微电子设备有限公司

购买日期：          2024年              分类标签：器件加工

联系人：              于慧慧               联系电话：010-62334725

放置地点：       鼎新楼A座521

主要规格及技术指标：

转速精度为±1 rpm，最大加速度为20000 rpm，旋涂均匀性片内≤ ±3 %片间≤ ±3 %，去边精度为±0.5mm，对中方式为半自动对中

主要功能及特色：

实现8英寸及以下晶圆基片的均匀旋涂，适用于8英寸集成电路制造中的光刻工艺以及二维材料的薄膜制备。