名称：        RIE刻蚀机（新）                       型号：   RIE-100R      

产地：        中国                                          生产厂家： 科民电子

购买日期： 2022.12                                    联系人：    张铮  

联系邮箱：                                                  联系电话：  

放置地点： 工程实践基地一期521  

主要规格及技术指标

1. 最大基片尺寸：直径100 mm(4-inch)；

2. 本底真空度：3.7×10-5 Torr;

3. 工艺气体种类：O2、Ar、SF6、CHF3；

主要功能及特色

适用于4英寸及以下衬底（硅片、玻璃、蓝宝石）上的多层二维材料刻蚀、超薄介电层刻蚀以及衬底亲水处理

设备操作手册